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2020/06/18
工业用氧                 
       
现行标准 GB/T   3863--2008    
       
项目 指标
    氧(O2)含量(体积分数)/10-2 99.5 99.2
    水(H2O)   无游离水
       
液态工业用氧应从每个储运容器中采样进行检验。    
     
     
纯氧、高纯氧、超纯氧    
         
现行标准 GB/T   14599--2008    
       
项目 指标
纯氧 高纯氧 超纯氧
氧(O2)纯度(体积分数)/10-2             99.995 99.999 99.9999
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 1 0.5 0.1
氩(Ar)含量(体积分数)/10-6 10 2 0.2
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 20 5 0.1
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 1 0.5 0.1
总烃含量(体积分数)(以甲烷计)/10-6 2 0.5 0.1
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 3 2 0.5
       
液态纯氧、高纯氧、超纯氧应从每个储运容器中采样进行检验。  
     
     
电子工业用气体氧              
     
现行标准 GB/T   14604--93    
     
项目 指标
超大规模集成电路集 半导体及集成电路级 电子级和散装液态氧
氧(O2)纯度(体积分数)/10-2 99.9853 99.5 99.5
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 1 1 1
氩(Ar)含量(体积分数)/10-6 100 -- --
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 30 100 100
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 1 -- --
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 1 -- --
一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 -- 5 5
总烃含量(体积分数)(以甲烷计)/10-6 1 5 25
氧化亚氮(N2O)含量(体积分数)/10-6 1 2 2
氪(Kr)含量(体积分数)/10-6 10 -- --
水(H2O)含量(体积分数)/10-6 2 2 2
总杂质含量(包括稀有气体)(体积分数)/10-6 147 5000 5000
  注: ①本标准不包括对颗粒的技术要求,该技术要求由供需双方商定。
      ②纯度和含量均以体积分数表示。
     
管道输送的气体氧,采样时尽可能使用短的金属管将样品气直接送入分析仪。  
液态氧的采样应符合GB-6680的规定。液态氧必须从液相取样并保证使液态氧完全气化  
后恢复到常温方能进样。

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